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Aktuelle Kontaktadresse
| Land | USA |
|---|---|
| Ort | Lemont |
| Universität/Institution | Argonne National Laboratory |
| Institut/Abteilung | Energy Systems Division |
Profil
| Fachgebiet | Experimentelle Physik der Kondensierten Materie,Thermodynamik und Kinetik sowie Eigenschaften der Phasen und Gefüge von Werkstoffen,Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik |
|---|---|
| Keywords | ALE, ALD, ALCVD, , CMOS Technology, Thin films, DRAM, Interconnects, High k-dielectric, , Pr2O3 (praseodymium oxide) |